De eerste metaaloxide-halfgeleidertransistor (MOS) werd in 1959 uitgevonden door Mohamed M. Atalla en Dawon Kahng bij Bell Labs. De MOSFET (metaaloxide-halfgeleider veldeffecttransistor) werd in 1959 uitgevonden door Kahng en Atalla, en het eerste commerciële CMOS-apparaat (complementaire MOS) werd in 1968 geproduceerd door Fairchild Semiconductor. |